heliInspect™

H8 / H8M

Interféromètre industriel à lumière blanche (WLI™ industriel)

Précision sur toutes les surfaces

Le heliInspect™ H8 combine une résolution maximale avec une mesure indépendante du matériau et une interface GenICam pour une intégration rapide, en ligne, en bord de ligne ou hors ligne. Chaque aspect du heliInspect™ H8 est adapté à une utilisation industrielle : mesure précise, conception robuste, application flexible et intégration transparente.

Précision maximale

Industriel

Diversifié

Intégration facile

H8 / H8M Data Sheet

Version H8MDS0004 1 fichier·s 1.75 MB

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heliOptics™ WLI8 - pour H8 / H8M

Optiques interchangeables

Les options d’objectifs flexibles permettent l’adaptation à différentes tailles et exigences de composants.

Caractéristiques / Grossissement	2×	4×	8×	10×	20×	50×	100×
Champ de vision [mm × mm]	6.5 × 6.1	3.3 × 3.1	1.6 × 1.5	1.3 × 1.2	0.65 × 0.61	0.26 × 0.25	0.13 × 0.12
Résolution optique [µm] – H8	12	6	3	2.4	1.2	0.48	0.24(*)
Résolution optique [µm] – H8M	6	3	1.5	1.2	0.6	0.24(*)	0.12(*)
Distance de travail [mm] – Michelson	43	43	12.8	—	—	—	—
Distance de travail [mm] – Mitutoyo Mirau	—	—	—	8.0	6.0	3.6	2.0
Distance de travail [mm] – Nikon Mirau	—	—	—	7.4	4.7	3.4	2.0
Distance de travail [mm] – Leica Mirau	—	—	—	3.6	3.6	2.5	—
Ouverture numérique	0.10	0.14	0.2	0.3	0.4	0.5	0.7
(*) Résolution des pixels

Résultats typiques sur des cibles traçables

Mesures précises sans contrôle des vibrations.

Standard	Hauteur d’échelon	Sigma ⁽¹⁾	Delta ⁽²⁾	Mode
VLSI / NIST	9.9 nm	0.3 nm	ok	phase
VLSI / NIST	99.6 nm	0.4 nm	ok	phase
PTB	1.002 μm	0.5 nm	ok	COMphiFusion
PTB	5.009 μm	2.5 nm	ok	COMphiFusion
PTB	20.000 μm	1.7 nm	ok	COMphiFusion
VLSI / NIST	201.603 μm	44 nm	ok	envelope
PTB	899.941 μm	63 nm	ok	envelope
(1) Sigma = Répétabilité (2) Delta = Hauteur absolue dans la tolérance cible