Inline Mikro-Metrologie

Im letzten Jahrzehnt kam eine Vielzahl verschiedener 3D-Sensoren auf den Markt. Allerdings funktionieren die meisten optische Sensoren nur auf matten Oberflächen, andere prinzipbedingt nur auf spiegelnden Flächen. Sollen Bauteile mit Toleranzen im Mikrometerbereich vermessen werden, so wird die Auswahl an Sensorik schnell dünn. Dabei ist zu beachten, dass schon bei Bauteiltoleranzen von wenigen 1/100mm Wiederholgenauigkeiten im Sub-Mikrometerbereich gefordert sind. Genau für diese Anwendungen erweitert Heliotis ihre heliInspect Produktline um die hochauflösenden H8M und H9M Modelle. Diese bauen – genauso wie die Vorgänger – auf das Messverfahren der Weißlicht-Interferometrie (WLI). Neben einer Höhenauflösung im Nanometerbereich zeichnet sich dieses optische Verfahren dadurch aus, dass praktisch alle Oberflächen und Materialien gemessen werden können: von matt, über spiegelnd bis hin zu transparent. Zudem sind die Messdaten von WLI-Sensoren frei von Abschattungen, was deren Einsatzmöglichkeiten zusätzlich erhöht.

Lesen Sie hierzu unseren Artikel in der neusten Ausgabe von inVISION: Inline Mikro-Metrologie