heliInspect™

H9 / H9M

Interféromètre industriel à lumière blanche (WLI™ industriel)

Précision sur de grands champs de mesure

Le heliInspect™ H9 combine de grands champs de mesure avec une haute résolution de hauteur. Sa construction robuste, ses longues distances de travail et son intégration logicielle flexible en font la solution idéale pour le contrôle en série de grands composants, en ligne, en bord de ligne et hors ligne.

Précision sur de grandes surfaces

Conçu pour l'industrie

Applications polyvalentes

Intégration facile

heliInspect™ H9 / H9M

Nombreux FOV, deux distances de travail

Les options d’objectifs flexibles permettent l’adaptation à différentes tailles et exigences de composants.

Caractéristiques / Grossissement 0.5× 0.8× 1.5×
Champ de vision [mm × mm] 24.6 × 26.1 15.4 × 16.3 12.3 × 13.1 8.2 × 8.7 6.1 × 6.5 0.26 × 0.2
Résolution optique [µm] – H9 48 30 24 16 12 8
Résolution optique [µm] – H9M 24 15 12 18 6 4(*)
Distance de travail [mm] – Standard 51 51 51 51 49 49
Distance de travail [mm] – Longue 113 113 113 110
Ouverture numérique – Standard 0.033 0.053 0.067 0.10 0.13 0.15
Ouverture numérique – Longue 0.033 0.053 0.067 0.11