heliInspect™

H9 / H9M

산업용 백색광 간섭계 (산업용 WLI™)

대면적 측정에서의 정밀도

heliInspect™ H9은 넓은 측정 시야와 높은 높이 분해능을 결합한 제품입니다. 견고한 설계, 긴 작동 거리 및 유연한 소프트웨어 통합을 통해 인라인, 앳라인, 오프라인에서 대형 부품의 연속 검사를 위한 이상적인 솔루션을 제공합니다.

대면적에서의 정밀도

산업용 설계

다양한 응용 분야

간편한 통합

heliInspect™ H9 / H9M

다양한 FOV, 두 가지 작동 거리

유연한 렌즈 옵션을 통해 다양한 부품 크기와 요구 사항에 맞춰 최적화할 수 있습니다.

특징 / 배율 0.5× 0.8× 1.5×
측정 시야 (Field of view) [mm × mm] 24.6 × 26.1 15.4 × 16.3 12.3 × 13.1 8.2 × 8.7 6.1 × 6.5 4.10 × 4.35
광학 분해능 [µm] – H9 48 30 24 16 12 8
광학 분해능 [µm] – H9M 24 15 12 18 6 4(*)
작동 거리 [mm] – 표준 51 51 51 51 49 49
작동 거리 [mm] – 롱 타입 113 113 113 110
개구수 (Numerical aperture) – 표준 0.033 0.053 0.067 0.10 0.13 0.15
개구수 (Numerical aperture) – 롱 타입 0.033 0.053 0.067 0.11