heliInspect™

H9 / H9M

工業級白光干涉儀 (工業級 WLI™)

大測量場域的精準度

heliInspect™ H9 結合了寬廣的測量場域與高高度解析度。其堅固的結構、長工作距離和靈活的軟體整合,使其成為大型零件批量檢測的理想解決方案,無論是線上、近線還是離線應用。

大面積的精準度

專為工業打造

多功能應用

輕鬆整合

heliInspect™ H9 / H9M

多種視場,兩種工作距離

靈活的鏡頭選項可適應不同的零件尺寸和要求。

特點 / 放大倍率0.5×0.8×1×1.5×2×3×
視場 [mm × mm]24.6 × 26.115.4 × 16.312.3 × 13.18.2 × 8.76.1 × 6.54.10 × 4.35
光學解析度 [µm] – H948302416128
光學解析度 [µm] – H9M2415121864(*)
工作距離 [mm] – 標準515151514949
工作距離 [mm] – 長113113113–110–
數值孔徑 – 標準0.0330.0530.0670.100.130.15
數值孔徑 – 長0.0330.0530.067–0.11–