heliInspect™

H9 / H9M

工業級白光干涉儀 (工業級 WLI™)

大測量場域的精準度

heliInspect™ H9 結合了寬廣的測量場域與高高度解析度。其堅固的結構、長工作距離和靈活的軟體整合,使其成為大型零件批量檢測的理想解決方案,無論是線上、近線還是離線應用。

大面積的精準度

專為工業打造

多功能應用

輕鬆整合

heliInspect™ H9 / H9M

多種視場,兩種工作距離

靈活的鏡頭選項可適應不同的零件尺寸和要求。

特點 / 放大倍率 0.5× 0.8× 1.5×
視場 [mm × mm] 24.6 × 26.1 15.4 × 16.3 12.3 × 13.1 8.2 × 8.7 6.1 × 6.5 4.10 × 4.35
光學解析度 [µm] – H9 48 30 24 16 12 8
光學解析度 [µm] – H9M 24 15 12 18 6 4(*)
工作距離 [mm] – 標準 51 51 51 51 49 49
工作距離 [mm] – 長 113 113 113 110
數值孔徑 – 標準 0.033 0.053 0.067 0.10 0.13 0.15
數值孔徑 – 長 0.033 0.053 0.067 0.11