heliInspect™

H9 / H9M

産業用白色光干渉計(産業用WLI™)

大きな測定フィールドでの精度

heliInspect™ H9は、大きな測定フィールドと高い高さ分解能を兼ね備えています。堅牢な構造、長い作動距離、柔軟なソフトウェア統合により、インライン、アットライン、オフラインでの大型部品の連続検査に最適なソリューションです。

大きな面積での精度

産業用に構築

多様なアプリケーション

簡単な統合

heliInspect™ H9 / H9M

多くのFOV、2つの作動距離

柔軟なレンズオプションにより、さまざまな部品サイズや要件に合わせて調整できます。

特徴 / 倍率0.5×0.8×1×1.5×2×3×
視野 [mm × mm]24.6 × 26.115.4 × 16.312.3 × 13.18.2 × 8.76.1 × 6.54.10 × 4.35
光学分解能[µm] – H948302416128
光学分解能[µm] – H9M2415121864(*)
作動距離 [mm] – 標準515151514949
作動距離 [mm] – 長113113113–110–
開口数 – 標準0.0330.0530.0670.100.130.15
開口数 – 長0.0330.0530.067–0.11–