heliInspect™

H9 / H9M

工业白光干涉仪 (工业 WLI™)

大测量视野下的高精度

heliInspect™ H9 将大测量视野与高纵向分辨率相结合。其坚固的结构设计、长工作距离和灵活的软件集成,使其成为大尺寸零部件批量检测的理想解决方案,无论是线中 (in-line)、线旁 (at-line) 还是线下 (off-line) 均能胜任。

大面积测量的高精度

为工业应用而生

多样化的应用场景

易于集成

heliInspect™ H9 / H9M

多种视野 (FOV),两种工作距离

灵活的镜头选项可适应不同的零部件尺寸和需求。

特性 / 放大倍率 0.5× 0.8× 1.5×
视野 [mm × mm] 24.6 × 26.1 15.4 × 16.3 12.3 × 13.1 8.2 × 8.7 6.1 × 6.5 4.10 × 4.35
光学分辨率 [µm] – H9 48 30 24 16 12 8
光学分辨率 [µm] – H9M 24 15 12 18 6 4(*)
工作距离 [mm] – 标准 51 51 51 51 49 49
工作距离 [mm] – 长距离 113 113 113 110
数值孔径 – 标准 0.033 0.053 0.067 0.10 0.13 0.15
数值孔径 – 长距离 0.033 0.053 0.067 0.11