heliInspect™

H9 / H9M

工业白光干涉仪 (工业 WLI™)

大测量视野下的高精度

heliInspect™ H9 将大测量视野与高纵向分辨率相结合。其坚固的结构设计、长工作距离和灵活的软件集成,使其成为大尺寸零部件批量检测的理想解决方案,无论是线中 (in-line)、线旁 (at-line) 还是线下 (off-line) 均能胜任。

大面积测量的高精度

为工业应用而生

多样化的应用场景

易于集成

heliInspect™ H9 / H9M

多种视野 (FOV),两种工作距离

灵活的镜头选项可适应不同的零部件尺寸和需求。

特性 / 放大倍率0.5×0.8×1×1.5×2×3×
视野 [mm × mm]24.6 × 26.115.4 × 16.312.3 × 13.18.2 × 8.76.1 × 6.54.10 × 4.35
光学分辨率 [µm] – H948302416128
光学分辨率 [µm] – H9M2415121864(*)
工作距离 [mm] – 标准515151514949
工作距离 [mm] – 长距离113113113–110–
数值孔径 – 标准0.0330.0530.0670.100.130.15
数值孔径 – 长距离0.0330.0530.067–0.11–