heliInspect™

H9 / H9M

産業用白色光干渉計(産業用WLI™)

大きな測定フィールドでの精度

heliInspect™ H9は、大きな測定フィールドと高い高さ分解能を兼ね備えています。堅牢な構造、長い作動距離、柔軟なソフトウェア統合により、インライン、アットライン、オフラインでの大型部品の連続検査に最適なソリューションです。

大きな面積での精度

産業用に構築

多様なアプリケーション

簡単な統合

heliInspect™ H9 / H9M

多くのFOV、2つの作動距離

柔軟なレンズオプションにより、さまざまな部品サイズや要件に合わせて調整できます。

特徴 / 倍率 0.5× 0.8× 1.5×
視野 [mm × mm] 24.6 × 26.1 15.4 × 16.3 12.3 × 13.1 8.2 × 8.7 6.1 × 6.5 0.26 × 0.2
光学分解能[µm] – H9 48 30 24 16 12 8
光学分解能[µm] – H9M 24 15 12 18 6 4(*)
作動距離 [mm] – 標準 51 51 51 51 49 49
作動距離 [mm] – 長 113 113 113 110
開口数 – 標準 0.033 0.053 0.067 0.10 0.13 0.15
開口数 – 長 0.033 0.053 0.067 0.11