heliInspect™

H9 / H9M

Industrielles Weißlichtinterferometer (Industrielles WLI™)

Präzision auf großen Messfeldern

Der heliInspect™ H9 kombiniert große Messfelder mit hoher Höhenauflösung. Robuste Bauweise, lange Arbeitsabstände und flexible Software-Integration machen ihn zur idealen Lösung für die Serienprüfung großer Bauteile, in-line, at-line wie off-line.

Präzision auf großen Flächen

Für die Industrie gebaut

Vielseitige Anwendungen

Einfache Integration

heliInspect™ H9 / H9M

Viele FOV, zwei Arbeitsabstände

Flexible Objektivoptionen ermöglichen die Anpassung an unterschiedliche Bauteilgrößen und Anforderungen.

Merkmale / Vergrösserung0.5×0.8×1×1.5×2×3×
Field of view [mm × mm]24.6 × 26.115.4 × 16.312.3 × 13.18.2 × 8.76.1 × 6.54.10 × 4.35
Optical resolution [µm] – H948302416128
Optical resolution [µm] – H9M2415121864(*)
Working distance [mm] – Standard515151514949
Working distance [mm] – Long113113113–110–
Numerical aperture – Standard0.0330.0530.0670.100.130.15
Numerical aperture – Long0.0330.0530.067–0.11–