heliInspect™

H8 / H8M

工业白光干涉仪（工业 WLI™）

适用于所有表面的精密测量

heliInspect™ H8 将最高分辨率与不受材料影响的测量能力相结合，并配备 GenICam 接口，便于快速集成，可用于在线（in-line）、近线（at-line）或离线（off-line）应用。heliInspect™ H8 的每个方面都针对工业使用而设计：测量精准、结构坚固、应用灵活、集成无缝。

最高精度

工业级

多样化

易于集成

H8 / H8M Data Sheet

Version H8MDS0004 1 文件 1.75 MB

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heliOptics™ WLI8 - 适用于 H8 / H8M

可更换光学组件

灵活的物镜选项可适配不同的工件尺寸与需求。

特性 / 放大倍率	2×	4×	8×	10×	20×	50×	100×
视场 [mm × mm]	6.5 × 6.1	3.3 × 3.1	1.6 × 1.5	1.3 × 1.2	0.65 × 0.61	0.26 × 0.25	0.13 × 0.12
横向分辨率 [µm] – H8	12	6	3	2.4	1.2	0.48	0.24(*)
横向分辨率 [µm] – H8M	6	3	1.5	1.2	0.6	0.24(*)	0.12(*)
工作距离 [mm] – Michelson	43	43	12.8	—	—	—	—
工作距离 [mm] – Mitutoyo Mirau	—	—	—	8.0	6.0	3.6	2.0
工作距离 [mm] – Nikon Mirau	—	—	—	7.4	4.7	3.4	2.0
工作距离 [mm] – Leica Mirau	—	—	—	3.6	3.6	2.5	—
数值孔径	0.10	0.14	0.2	0.3	0.4	0.5	0.7
(*) 像素分辨率

可溯源标准件上的典型结果

无需振动控制即可实现精密测量。

标准	台阶高度	Sigma ⁽¹⁾	Delta ⁽²⁾	模式
VLSI / NIST	9.9 nm	0.3 nm	ok	phase
VLSI / NIST	99.6 nm	0.4 nm	ok	phase
PTB	1.002 μm	0.5 nm	ok	COMphiFusion
PTB	5.009 μm	2.5 nm	ok	COMphiFusion
PTB	20.000 μm	1.7 nm	ok	COMphiFusion
VLSI / NIST	201.603 μm	44 nm	ok	envelope
PTB	899.941 μm	63 nm	ok	envelope
(1) Sigma = 重复性 (2) Delta = 目标件公差范围内的绝对高度