heliInspect™

H9 / 9M

Industrielles Weißlichtinterferometer (Industrielles WLI™)

Präzision auf großen Messfeldern

Der heliInspect™ H9 kombiniert große Messfelder mit hoher Höhenauflösung. Robuste Bauweise, lange Arbeitsabstände und flexible Software-Integration machen ihn zur idealen Lösung für die Serienprüfung großer Bauteile, in-line, at-line wie off-line.

Präzision auf großen Flächen

Für die Industrie gebaut

Vielseitige Anwendungen

Einfache Integration

heliInspect™ H9 / H9M

Viele FOV, zwei Arbeitsabstände

Flexible Objektivoptionen ermöglichen die Anpassung an unterschiedliche Bauteilgrößen und Anforderungen.

heliInspect™ H9/H9M – Spezifikation
Merkmale / Vergrösserung 0.5× 0.8× 1.5×
Field of view [mm × mm] 24.6 × 26.1 15.4 × 16.3 12.3 × 13.1 8.2 × 8.7 6.1 × 6.5 0.26 × 0.2
Optical resolution [μm] – H9 48 30 24 16 12 8
Optical resolution [μm] – H9M 24 15 12 18 6 4(*)
Working distance [mm] – Standard 51 51 51 51 49 49
Working distance [mm] – Long 113 113 113 - 110 -
Numerical aperture – Standard 0.033 0.053 0.067 0.10 0.13 0.15
Numerical aperture – Long 0.033 0.053 0.067 - 0.11 -